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【2h】

Laterally Driven Resonant Pressure Sensor with Etched Silicon Dual Diaphragms and Combined Beams

机译：横向驱动的谐振式压力传感器，带有蚀刻硅双膜片和组合梁

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作者
Xiaohui Du; Yifang Liu; Anlin Li; Zhou Zhou; Daoheng Sun; Lingyun Wang;
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年度 2016
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1. Laterally Driven Resonant Pressure Sensor with Etched Silicon Dual Diaphragms and Combined Beams [J] . Du Xiaohui, Liu Yifang, Li Anlin, SIAM journal on applied dynamical systems . 2017,第2期

机译：横向驱动的谐振压力传感器，具有蚀刻硅双隔膜和组合梁
2. Laterally Driven Resonant Pressure Sensor with Etched Silicon Dual Diaphragms and Combined Beams [J] . Xiaohui Du, Yifang Liu, Anlin Li, Sensors . 2016,第2期

机译：具有蚀刻硅双膜片和组合梁的横向驱动谐振压力传感器
3. A balanced dual-diaphragm resonant pressure sensor in silicon [J] . Stemme E., Stemme G. IEEE Transactions on Electron Devices . 1990,第3期

机译：硅中的平衡双隔膜谐振压力传感器
4. Partially etched holes for residual stress release in diaphragm-based pressure sensors [C] . Meng-Nian Niu, Fred J.ov Preissig, Eun Sok Kim ASME international mechanical engineering congress and exposition . 2000

机译：部分蚀刻的孔可释放基于膜片的压力传感器中的残余应力
5. Piezoresistive pressure sensor with integrated amplifier realized using metal-induced laterally crystallized polycrystalline silicon. [D] . Li, Gang. 2005

机译：具有集成放大器的压阻式压力传感器，使用金属感应的横向结晶多晶硅实现。
6. Laterally Driven Resonant Pressure Sensor with Etched Silicon Dual Diaphragms and Combined Beams [O] . Xiaohui Du, Yifang Liu, Anlin Li, 2016

机译：具有蚀刻硅双膜片和组合梁的横向驱动谐振压力传感器
7. Design and experiment of a laterally driven micromachined resonant pressure sensor for barometers [O] . Chen Deyong, Li Yuxin, Liu Meng, 2010

机译：气压计侧向驱动微机械谐振压力传感器的设计与实验
8. Laterally Driven Polysilicon Resonant Microstructures. [R] . Lang, W. C., Hguyen, T. C. H., Howe, R. T. 1988

机译：横向驱动的多晶硅共振微结构。

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